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Probe Card


标准型号

Low Leakage Type Probe Card


根据Agilent公司的4071/72所专用的陶瓷PCB,可以实现1pA以下水平的测定。回路形式以四号线防护线为基准线进行覆盖,降低在基板上的泄漏电流。另外,用高电阻减少诱电吸收,高温下使用弯曲少的绝缘聚酰亚胺材料。


10V以上的印加电压的测定,使用同轴探针或微钢片、进而得到更高的指导效果。

本公司的产品在1997年由Agilent公司(日本HP半导体测量事业部)推荐,受到制造商的认可。

EPOXY Type Probe Card


探针卡最多的用途是晶片检查。

以TEG测定为首,逻辑、ASIC排版、并灵活应对各种各样的需求。

标准型号

针位置精度±3μm以下
最小针间距40μm
层差5μm以内
接触电阻值0.5Ω以下(包含基板电阻)
针压0.07~1.5g/10μm(OD)
温度范围-40℃~150℃
其他根据贵公司标准要求范围制作

垂直探针卡


核心特点

体积小:紧凑设计适应空间受限的测试环境。
探针直径小:可精确接触芯片上密集排列的接触点。
易更换:探针可方便更换以适应不同芯片测试需求。
高针数、短针距:支持高密度探针布局,满足高阶封装测试要求。

垂直针探卡产品

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REPAIR EQUIPMENT

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